图形电镀:通过光刻技术定义线路图形,然后对图形区域进行电镀加厚,如镀铜至 5-15μm,以形成导线主体。对于高频高速线路板,常采用脉冲电镀或周期反向电镀,以改善镀层结晶结构。
工艺适配相关故障
线路桥连 / 短路:超细线路(≤10μm 线宽)间出现镀层粘连,多因光刻胶显影不彻底、电镀时金属离子过度沉积,或镀液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔内出现空洞、凹陷,影响层间导通和散热。成因是镀液流动性不足、电流密度未针对深宽比优化,或添加剂中整平剂含量不足。
基材损伤:特殊基材(如 PTFE)出现翘曲、开裂,多因电镀温度过高(超过基材耐热极限),或前处理化学药剂腐蚀基材表面。
基材预处理:奠定结合与信号基础
先进行除油脱脂,用碱性或中性清洗剂去除基材表面油污、指纹,避免影响镀层附着力。
针对 PTFE、罗杰斯等特殊基材,需额外做等离子体活化 / 化学粗化,提升表面活性与粗糙度。
通过微蚀 + 水洗,去除表面氧化层,同时形成均匀微观粗化面,增强后续种子层结合力。
去胶与蚀刻:剥离多余金属
用化学脱胶剂或等离子体去除表面光刻胶 / 干膜,露出下方未被电镀覆盖的种子层。
采用微蚀工艺,蚀刻掉多余种子层,仅保留电镀形成的功能线路,控制侧蚀量≤0.5μm。
蚀刻后彻底水洗,避免残留药剂腐蚀镀层或基材。

