信号性能相关故障
阻抗超标:高频信号传输时阻抗波动超过 ±3%,导致信号反射、损耗增大。除了镀层厚度不均,还可能是镀层结晶结构不佳(如铜镀层晶粒粗大),或线路侧蚀严重破坏阻抗设计。
高频损耗异常:插入损耗、回波损耗不达标,常见于脉冲电镀工艺参数不当。比如脉冲频率、占空比设置不合理,导致镀层趋肤效应增强,信号衰减加剧。
基材预处理:奠定结合与信号基础
先进行除油脱脂,用碱性或中性清洗剂去除基材表面油污、指纹,避免影响镀层附着力。
针对 PTFE、罗杰斯等特殊基材,需额外做等离子体活化 / 化学粗化,提升表面活性与粗糙度。
通过微蚀 + 水洗,去除表面氧化层,同时形成均匀微观粗化面,增强后续种子层结合力。
图形转移:定义线路与镀层区域
涂布高精度光刻胶 / 干膜,通过曝光、显影工艺,将线路图形转移到基材表面。
高频高速板对图形精度要求,需控制线宽 / 线距偏差≤±1μm,避免开窗偏移导致镀层错位。
显影后进行检查修正,去除残留胶渣,确保线路区域完全裸露、非线路区域被保护。
去胶与蚀刻:剥离多余金属
用化学脱胶剂或等离子体去除表面光刻胶 / 干膜,露出下方未被电镀覆盖的种子层。
采用微蚀工艺,蚀刻掉多余种子层,仅保留电镀形成的功能线路,控制侧蚀量≤0.5μm。
蚀刻后彻底水洗,避免残留药剂腐蚀镀层或基材。

